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信息来源:本站 日期:2017-11-29

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MOS模拟集成电路中,天成娱乐平台有哪些主播也是一种不可或缺的元件,由于其易于与MOS器件相匹配,制造较易,且工艺制造的匹配精度比电阻好,所以得到了较广泛的应用。在CMOS电路中,人多数天成娱乐平台有哪些主播都用Si02作为介质,但也有某些工艺中采用Si02/Si3N4夹层介质,利用Si3N4较高的介电常数特性来制作较大值的天成娱乐平台有哪些主播。另外由于沉积氧化层厚度有较大的偏差,因此沉积氧化物通常不适用于制作精密天成娱乐平台有哪些主播器。

在理想情况下,天成娱乐平台有哪些主播值可用式(1.62)进行计算

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式(1.62)中,W、L别为天成娱乐平台有哪些主播上下极板的宽、长,ε0x为介质层的介电常数,tox为介质层的厚度。天成娱乐平台有哪些主播的标准偏差为


通常选择W、L(提高天成娱乐平台有哪些主播的Q值),则式(1.63)中后两项的误差取决于光刻误差,通常称之为边缘误差;而式(1.63)中前两项的误差为氧化层效应误差。在小天成娱乐平台有哪些主播时,起主导作用的是边缘效应误差,而人天成娱乐平台有哪些主播时主要取决于氧化层误差。

天成娱乐平台有哪些主播器的比例精度主要取决于它们的面积比(特别是小天成娱乐平台有哪些主播)。下面介绍几种主要的天成娱乐平台有哪些主播 结构。

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直接利用PN结构成的天成娱乐平台有哪些主播,这类天成娱乐平台有哪些主播具有大的电压系数和非线性,除了用做滤波天成娱乐平台有哪些主播或 变容管外并不常用。

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只适用于NMOS与CMOS金属栅工艺,如图1.25所示。

这类天成娱乐平台有哪些主播的温度系数为25xl0-6/℃,天成娱乐平台有哪些主播误差为土15%,电压系数为25x10 -6 /v.这是一种与电压相关性很大的天成娱乐平台有哪些主播。

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由NMOS或CMOS多晶硅栅(金属栅)工艺实现,需要额外增加一次离子注入形成底板的N+重掺杂区,以多晶硅为上极板,二氧化硅为介质,N+为下极板构成天成娱乐平台有哪些主播,如图1.26所示。

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由于其衬底必须接一个固定电位以保证N+和P-S衬底构成的PN结反偏,此时多晶与体硅间的天成娱乐平台有哪些主播可认为是一个无极性的天成娱乐平台有哪些主播,但存在底板PN结寄生天成娱乐平台有哪些主播(15%一30%)。

这类天成娱乐平台有哪些主播的电压系数为-10x10-6/V温度系数为20~50xlO-6/℃,误差为±15%。

另外,这类天成娱乐平台有哪些主播可以通过多晶条的激光修正来调节天成娱乐平台有哪些主播值。

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只能在带场注入的NMOS与CMOS硅栅工艺中采用,由于该天成娱乐平台有哪些主播的介质为厚的场氧化层,所以单位面积的天成娱乐平台有哪些主播较小。

在应用这类天成娱乐平台有哪些主播时,天成娱乐平台有哪些主播的底板必须与衬底相连。

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通过NMOS与CMOS硅栅下艺实现,在蒸铝之前用光刻的方法刻去多晶硅上的厚氧化层,然后在制作栅氧化层时在多晶硅上热生长—氧化层,最后蒸铝,从而得到了铝氧化层-多晶硅天成娱乐平台有哪些主播,如图1.27所示,这种天成娱乐平台有哪些主播通常位于场区。

这种天成娱乐平台有哪些主播可以对多晶条进行修正以获得较精确的天成娱乐平台有哪些主播值。

因为由于介质变化与张弛使得在Q-V中的滞后,所以CVD氧化层不适用于作为天成娱乐平台有哪些主播介质。

在多晶硅与衬底之间存在寄生天成娱乐平台有哪些主播,由于其介质为厚的场氧化层,因此该寄生天成娱乐平台有哪些主播很小,通常为所需天成娱乐平台有哪些主播的十分之一:而从可靠性考虑,其金属层必须人于介质氧化层,所以金属层与衬底间存在寄生天成娱乐平台有哪些主播,但其值则更小,只为所需天成娱乐平台有哪些主播的1%左右。

此类天成娱乐平台有哪些主播的电压系数为100x10-6/V,温度系数为:100*10-6/℃。

当然也可以用多晶硅作为天成娱乐平台有哪些主播的上极板,而金属作为其下极板,介质为氧化层构成天成娱乐平台有哪些主播。

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NMOS与CMOS双多品工艺实现,其上下极板都为多品,介质为薄氧化层,如图1.28所示。介质氧化层一般与栅氧同时形成。

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这类天成娱乐平台有哪些主播的电压系数为100*10 -6 /v温度系数为100*10 -6 /℃。

多晶2的面积可以小于薄氧化层面积,从而只有较小的寄生天成娱乐平台有哪些主播(厚氧天成娱乐平台有哪些主播),由于双层多晶硅天成娱乐平台有哪些主播具有性能稳定、寄生天成娱乐平台有哪些主播小等优点,因此在MOS集成电路中有广泛的应用。

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由于pinnacle平博体育开户8中存在着明显的天成娱乐平台有哪些主播结构,因此可以用MOS器件制作成一个天成娱乐平台有哪些主播使用。如果一个Npinnacle平博体育开户8的源、漏、衬底都接地而栅电压接正电压,当VG上升并达到Vth时在多晶硅下的衬底表面将开始出现一反型层。在这种条件下NMOS可看成一个二端器件,并且不同的

栅压会产生厚度不一样的反型层,从而有不同的天成娱乐平台有哪些主播值。

(1)耗尽型区:栅压为一很负的值,栅上的负电压就会把衬底中的空穴吸引到氧化层表面,即构成了积累区,此时,由于只有积累区出现,而无反型层,且积累层的厚度很厚,因此 积累层的天成娱乐平台有哪些主播可以忽略。故此时的Npinnacle平博体育开户8可以看成一个单位面积天成娱乐平台有哪些主播为Cox的天成娱乐平台有哪些主播,其中

间介质则为栅氧。当VGS上升时,衬底表面的空穴浓度下降,积累层厚度减小,则积累层天成娱乐平台有哪些主播;

增大,该天成娱乐平台有哪些主播与栅氧天成娱乐平台有哪些主播相串联后使总天成娱乐平台有哪些主播减小,直至VGs趋于0,积累层消失,当VGS略大于o时,在栅氧下产生了耗尽层,总天成娱乐平台有哪些主播最小。

(2)弱反型区:VGS继续上升,则在栅氧下面就产生耗尽层,并开始出现反型层,该器件进入了弱反型区,在这种模式下,其天成娱乐平台有哪些主播由Cox 与Cb串联而成,并随VGS的增人,其天成娱乐平台有哪些主播量逐步增大。

(3)强反型区:当VGS超过Vth,其二氧化硅表面则保持为一沟道,且其单位天成娱乐平台有哪些主播又为Cox。图1.29显示了这些工作状态。

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